产品概述
PECVD 工艺系统,适合薄膜沉积和高温工艺。
核心用途
围绕试验工况设计热源、结构、测温与控制方式。
系统集成
可与夹具、试验机、气氛/真空系统和数据采集系统集成。
控制与安全
强调升温效率、温场稳定性、操作安全和维护便利性。
定制服务
支持按试样尺寸、温度目标和测试流程进行定制。
适用场景
适用于材料热性能测试、热冲击/热循环验证、高温力学试验配套、工艺开发以及工程装备升级改造等场景。具体配置可根据目标温度、加热区域、试样形态、环境气氛和控制精度要求进行设计。
PECVD 工艺系统,适合薄膜沉积和高温工艺。

PECVD 工艺系统,适合薄膜沉积和高温工艺。
围绕试验工况设计热源、结构、测温与控制方式。
可与夹具、试验机、气氛/真空系统和数据采集系统集成。
强调升温效率、温场稳定性、操作安全和维护便利性。
支持按试样尺寸、温度目标和测试流程进行定制。
适用于材料热性能测试、热冲击/热循环验证、高温力学试验配套、工艺开发以及工程装备升级改造等场景。具体配置可根据目标温度、加热区域、试样形态、环境气氛和控制精度要求进行设计。